Characteristics of Powder with Change of Temperature in Production of Tantalum Powder by MR-EMR Combination Process(RISS)MR-EMR 복합공정에 의한 탄탈륨분말의 제조시 온도변화에 따른 분말의 특성
A Study on the double-layered dielectric films of tantalum oxide and silicon nitride formed by in situ process(RISS)연속 공정으로 형성된 탄탈륨 산화막 및 실리콘 질화막의 이중유전막에 관한 연구